一种MEMS检波器设计及其性能测试<sup>*</sup>

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物探装备 ›› 2014, Vol. 24 ›› Issue (1) : 1-4.

专论与综述

一种MEMS检波器设计及其性能测试^*

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Design of a MEMS geophone and its parameters testing

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收稿日期	出版日期
2013-09-05	2014-02-25
发布日期
2014-02-25

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