石油勘探MEMS传感器的研究<sup>*</sup>

石油勘探MEMS传感器的研究^*

颜永安,牛德芳,孙正鼐

Studying MEMS sensor of oil exploration

Yan Yong′an,Niu Defang,Sun Zhengnai

物探装备 . 2005, (1): 1 -5 .